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테라는 FPD 공정 장비와 반도체 장비에서 얻은 기술과 양산 know-how를 바탕으로 bulk형 결정질 태양전지 제조장비 뿐만 아니라 박막형 태양전지 제조장비를 제공합니다. 특히, CIGS 박막형 태양전지 제조용 Selenization 공정 장비와 Si, CIGS, LED 등에 사용하는 ZnO 투명전도막(TCO) 증착장비를 제공합니다.








CIGS(Copper Indium Gallium Selenium) 태양전지는 Cu, In, Ga, Se 4개 재료를 동시에 co-evaporation하는 공법(효율이 높으나 대면적화에 한계)과 Copper, Indium, Gallium을 순차적으로 sputtering한 후 Selenium based ambient의 고온에서 증착 및 열처리하는 공법으로 크게 나눌 수 있습니다. 테라의 Cryster®500s는 FPD 열처리 공정의 양산 경험을 바탕으로, 600°C 이하의 온도에서 Selenium 또는 Sulfur based ambient에서 복수의 glass 기판을 batch type으로 열처리하는 장비를 제공합니다. 맹독성의 Selenium 또는 Sulfur gas 분위기를 제어하기 위한 safety system과 공정 중 생성되는 부산물 처리를 위한 sub system에 대한 검증된 기술을 확보하고 있습니다.

Applications: CIGS태양전지용 Selenization
Batch type of > 20~100 product panels
Temperature < 600°C
No glass damage or deformation (Tera's proprietary warp free technology)
Complete chamber sealing for ambient control & safety
Innovative injector design
Proprietary safety Protocols for H2Se and H2S




Si, CIGS계 박막형 태양전지는 필수적으로 투명한 전극(Transparent Conductive Oxide)을 사용하게 됩니다. Si계 태양전지의 기존 투명전극인 FTO(F-doped Tin Oxide)대비 제조원가가 낮고, in-house화가 가능한 BZO(Boron-doped Zinc Oxide)가 널리 쓰이고 있으며, 역시 CIGS계 태양전지에 사용되는 Sputter based AZO대신 낮은 제조원가 및 Sputter damage최소화가 가능한 BZO가 CIGS태양전지 주요 제조업체에서 양산기술로 자리매김하고 있습니다.
테라의 Quadra MOCVD장비는 Si및 CIGS계 태양전지 TCO전극 증착 공정용으로 제공됩니다.

Applications: Si, CIGS태양전지, LED용 투명전도막
Single Chamber integrated Cluster type (Max 5 Chambers)
Low temperature Al heater, covered by susceptor
Tera's simple Dual Shower-Head structure (isolation of Zinc and H2O before gas reaction on glass)
MO Source supply system